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PIEZOCONCEPT三軸超高速納米定位器的規格

發布時間： 2023-03-07　　點擊次數： 1166次

piezoconcept-PM3LR級的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍，并提供市場上非常高的速度能力（高達12.5kHz諧振頻率）。專為原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用而設計。包括控制器（USB 可選）。

piezoconcept SPM3LR平臺是一個3軸納米定位器，沿X和Y提供100μm，200μm或300μm的行程范圍.SPM3LR平臺的Z部分可以具有高達50μm的行程范圍，并提供市場上非常高的速度能力，非常大諧振頻率為12.5kHz

。SPM3LR.xxx.05 在 Z 軸上的階躍響應時間可以小于一毫秒。

因此，SPM3LR載物臺特別適用于原子力顯微鏡等要求苛刻的計量應用。

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XY規格

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Z 規格

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